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【供应】ABL3600气浮平台

详细信息

产品属性
产品数量
1
包装说明
常规
价格说明
面议
产品规格
多种
产品编号
1
产地
进口
产品描述


ABL3600气浮平台



1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计

2双轴,大孔,开放式结构

3非接触直线编码器反馈,精度高

4双直线电机驱动XY

5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

行程≤250mm

精度±1um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.50um

平面度±1um



更多技术内容及应用请咨询销售工程师程健18612885992

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