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- 卜振磊
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详细信息
产品属性
产品数量 |
1 |
包装说明 |
常规 |
价格说明 |
面议 |
产品规格 |
多种 |
产品编号 |
1 |
产地 |
进口 |
产品描述
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
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